一、產(chǎn)品介紹

SJ6000國產(chǎn)激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>

二、國產(chǎn)激光干涉儀線性測量

線性測量原理 —— 邁克爾遜干涉原理

線性測量的光路原理構(gòu)建圖

1、從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；

2、兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；

3、角錐反射鏡B每移動半個(gè)激光波長的距離，將會產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長。

三、線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。其中，線性測量包括定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等。

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動軸的位置誤差，補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動軸的位置誤差。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測運(yùn)動軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動軸移動到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

四、線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備、線性位移平臺、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。

五、線性測量附件

輕型線性鏡組 —— 特殊場合的應(yīng)用

輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量為8g，可以直接吸附在被測物體上，降低線性反射鏡的重量影響。

六、主要應(yīng)用場合

1、線性反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機(jī)械性能或精度；

2、線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；