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3d輪廓檢測儀器

產品簡介

在測量大尺寸樣品時,中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能,能將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。

產品型號:
更新時間:2025-04-05
廠商性質:生產廠家
訪問量:2297
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中圖3d輪廓檢測儀器可以測到12mm,也可以測到更小的尺寸,XY載物臺標準行程為140*110mm(可定制),測量的Z向范圍可達10mm(2.5X鏡頭),Z向的精度可達0.1nm。采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡,可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌,也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌,樣品表面形貌展示得更加清晰,圖像更大,觀察更加方便。


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在測量大尺寸樣品時,中圖3d輪廓檢測儀器的拼接功能,能將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像,拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,可達0.1um。


自動拼接功能.jpg



在3C領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;

在LED行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;

在光纖通信行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;

在集成電路行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;

在EMES行業,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度;

在軍事領域,SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度;

......


應用范例1.jpg



技術規格

產品型號:SuperView W1系列

產品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統:1024×1024

光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

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