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光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓尺寸,此外具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1
更新時(shí)間:2025-04-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1521
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中圖儀器SuperViewW1光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀主要是用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓尺寸,此外具有測(cè)量晶圓翹曲度的功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。


主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量;

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量;

3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量;

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量;

5、用于塑料,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。


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SuperViewW1光學(xué)檢測(cè)設(shè)備輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。可測(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。


產(chǎn)品功能

1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;

2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能;

3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;

4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。


部分參數(shù)

Z向分辨率:0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm

表面形貌重復(fù)性:0.1nm

臺(tái)階測(cè)量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%


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