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高靈敏度光纖激光尺

產品簡介

PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量。

產品型號:PLR3000
更新時間:2025-05-22
廠商性質:生產廠家
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中圖儀器PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設備,基于激光干涉測量原理,專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測量。相比傳統鋼帶尺或玻璃光柵,光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設計,保證了更高的穩定性,具有安裝快捷,易于準直等特點。

高靈敏度光纖激光尺


PLR3000高靈敏度光纖激光尺分辨率可達10nm,線性精度高達0.2ppm,為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。


功能特點

1、高分辨率數字正交信號輸出,分辨率達10nm(可外部拓展)。 

2、高測量精度,線性測量精度達0.2~0.5ppm。

3、高穩頻精度,可達0.02~0.05ppm。

4、測量范圍大,最大量程可達4m(可拓展)。

5、激光發射裝置與干涉探頭分離,通過3m鎧裝光纖與電纜連接,可將激光尺主機遠離被測量設備,便于安裝,同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。

6、輸出正交數字信號或1Vpp正余弦信號,可以適用于不同的控制器。

7、體積小巧,適合狹小空間安裝,可最大限度降低阿貝誤差。 

8、即可作為激光干涉儀進行測量,也可用于閉環位置反饋控制。

9、多通道輸出,可輕松實現多軸同時測量及多自由度測量。

10、環境補償功能,一體化的環境氣象站自動監視及更新環境氣象參數,實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響,保證測量的準確性。


核心優勢

1. 高精度  

(1)分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。  

(2)環境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數據長期穩定。  

2. 靈活配置  

(1)支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實現多自由度測量。  

(2)可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復雜場景。  

3. 高穩定性與便捷性  

(1)激光光源與探頭分離設計,3米鎧裝光纖連接,避免設備散熱干擾,安裝靈活。  

(2)體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風險。  

4. 廣泛適用性  

大量程4米(可拓展),支持動態速度達2m/s,覆蓋從靜態檢測到高速運動場景。  

高靈敏度光纖激光尺

典型應用場景

半導體制造:光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。  

航空航天:發動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。  

精密加工:數控機床多軸聯動位置反饋、微機械元件測量。  

科研領域:光學平臺穩定性監測、超精密實驗設備控制。  


服務與支持

定制化方案:根據需求提供探頭配置、量程拓展、環境補償單元等靈活選配。  

專業認證:提供激光校準證書,確保數據性。  

全球服務網絡:1年質保,技術支持團隊7×24小時響應,快速解決現場問題。  

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